Các cấp độ tinh khiết mục tiêu MH Niobium có sẵn

Mục tiêu Niobi 99,95% (4N)

● Độ tinh khiết cực cao-với lượng tạp chất khí và kim loại cực thấp

● Plasma ổn định, tạo hạt thấp

● Thích hợp cho phim bán dẫn, siêu dẫn và phim điện tử cao cấp-

Mục tiêu Niobi 99,9% (3N)

● Độ tinh khiết cao với tỷ lệ hiệu suất chi phí{0}}tuyệt vời

● Độ ổn định phún xạ đáng tin cậy cho các ứng dụng sơn công nghiệp

● Thích hợp cho các lớp phủ điện tử, quang học và chức năng nói chung

Các dạng mục tiêu Niobi MH

Chúng tôi cung cấp mục tiêu niobi ở nhiều hình dạng khác nhau để phù hợp với các hệ thống phún xạ khác nhau:

Mục tiêu hình chữ nhật / hình vuông

● Hệ thống phún xạ phẳng

● Cực âm phún xạ Magnetron

● Lắng đọng phim đồng nhất trên diện rộng-

Mục tiêu hình ống

● Hệ thống phún xạ quay

● Tỷ lệ sử dụng mục tiêu cao hơn

● Cải thiện tính đồng nhất của lớp phủ và hiệu quả sản xuất

(Kích thước tùy chỉnh và tùy chọn liên kết có sẵn theo yêu cầu.)

Phạm vi thông số mục tiêu MH Niobium

độ tinh khiết	99.9%, 99.95%
Tỉ trọng	Lớn hơn hoặc bằng 99,9% mật độ lý thuyết
Cấu trúc hạt	Đẹp và đồng đều
Hoàn thiện bề mặt	Ra0.4
Mục tiêu hình chữ nhật / hình vuông	Chiều dài Nhỏ hơn hoặc bằng 3000mm, Chiều rộng Nhỏ hơn hoặc bằng 800mm, Độ dày (mm) 1 ~ 20 mm
Mục tiêu hình ống	Đường kính ngoài 10-400mm, Tường 2-28mm

99,95% so với 99,9% – Hướng dẫn lựa chọn

Mục	Mục tiêu 99,95% Nb	Mục tiêu 99,9% Nb
Mức độ tinh khiết	Độ tinh khiết cực cao (4N)	Độ tinh khiết cao (3N)
Nội dung tạp chất	Cực kỳ thấp	Thấp
Chất lượng phim	Tính đồng nhất và ổn định cao nhất	Ổn định, cấp công nghiệp-
Thế hệ hạt	Tối thiểu	Thấp
Ứng dụng điển hình	Chất bán dẫn, màng siêu dẫn, R&D	Lớp phủ quang học, màng chức năng, sản xuất hàng loạt
Mức chi phí	Cao hơn	Tiết kiệm hơn

Mục tiêu hình chữ nhật và hình ống – Hướng dẫn lựa chọn

So sánh	Mục tiêu hình chữ nhật / hình vuông	Mục tiêu hình ống
Khả năng tương thích quy trình	Phún xạ phẳng, phún xạ Magnetron	phún xạ hình trụ
Sử dụng vật liệu	20%~30%	70%~85%
Chi phí mua sắm	Vừa phải	Cao hơn nhiều so với mục tiêu tấm
Hiệu quả sản xuất	Lô nhỏ, lớp phủ đa dạng	Lô lớn và lớp phủ liên tục
Xử lý bề mặt	mài mịn và đánh bóng	Mài mịn, khó hơn
Vật liệu đề xuất	Niobi nguyên chất (99,95%), Nb-1Zr	Niobi nguyên chất (99,95%), Nb-1Zr (Mục đích đặc biệt ở nhiệt độ cao)

Các ứng dụng điển hình của MH Niobium Target

Màng mỏng bán dẫn

Lớp phủ niobi siêu dẫn

Lớp phủ quang học và trang trí

Màn hình và thiết bị điện tử

Nghiên cứu và phim chức năng tiên tiến

Tại sao chọn mục tiêu MH Niobium

● Độ tinh khiết cao và hiệu suất phún xạ ổn định

● Cấu trúc vi mô đồng nhất và mật độ cao

● Có sẵn nhiều hình dạng: Hình chữ nhật & Hình ống

● Kích thước tùy chỉnh và giải pháp liên kết

● Sử dụng đã được chứng minh trong các ứng dụng sơn phủ nâng cao

Mục tiêu phún xạ niobium của chúng tôi mang lại độ tinh khiết đáng tin cậy, hoạt động phún xạ nhất quán và-hiệu suất màng chất lượng cao cho các ứng dụng màng mỏng đòi hỏi khắt khe.